Skip to:Content
|
Bottom
Cover image for Sifat-sifat saput tipis Yttrium oksida sebagai insulator dalam transistor kesan medan logam-oksida-semikonduktor (MOSFET)
Title:
Sifat-sifat saput tipis Yttrium oksida sebagai insulator dalam transistor kesan medan logam-oksida-semikonduktor (MOSFET)
Personal Author:
Publication Information:
Sekudai : UTM, 1994
Physical Description:
xxi, 129 p. : ill. : 30 cm.
General Note:
Supervisor: Assoc. Prof. Dr. Samsudi Sakrani

Peminjaman dalam bentuk mikrofilem sahaja : MFL 8238 ra
Abstract:
Dua transistor MOSFET dari jenis saput tipis difabrikasi di makmal dalam bentuk sesatah dan beperingkat. Struktur sesatah menggunakan saput tipis cadmium tellurida (CdTe) sebagai semikonduktornya manakala sturktur beperingkat menggunakan silikon hablur tunggal jenis-p <111>. Insulator dibina dari saput tipis yttrium oksida (Y2O3) dan elektrod-elektrod dari logam amuminnium 99.999%. Objektif utama kajian ini ialah untuk memfabrikasi transistor alternatif dari hablur tunggal atau polihablur ke transistor saput tipis yang tidak memerlukan voltan tinggi untuk beroperasi. Silikon pukal sebagai semikonduktor sesuatu transistor adalah satu perkara yang biasa kini namun demikian cadmium tellurida jarang sekali. Cadmium tellurida mempunyai jurang jalur yang tinggi (Ismail dan Gould, 1991). Oleh itu, ia boleh menggantikan cadmium selenida (CdSe) yang lebih biasa digunakan dalam penyelidikan transistor saput tipis (TST). Yttrium oksida yang digunakan sebagai insulator dalam projek ini juga adalah sesuatu yang baru. MOSFET komersial mahupun yang masih dalam penyelidikan kebanyakannya menggunakan silikon monosida (SiO). Menurut Sakrani et al (1992), saput tipis yttrium oksida menunjukkan ciri-ciri penyerapan yang lemah dalam julat boleh nampak kerana kuasadua pekali pupusannya sangat kurang dari 0.25. Maka, gabungan semikonnduktor yang baik seperti silikon pukal dan saput tipis cadmium tellurida berjurang jalur tinggi dengan insulator saput tipis yttrium oksida ini akan menseimbangkan keadaan pantas dan lambat (Anderson, 1976). Kekonduksian arusterus (DC) dan arus ulangalik (AC) keatas struktur aluminium - saput dan medan yang dikenakan untuk beberapa suhu tertentu dikaji. Kapasitans, faktor lesapan dan pemalar eielektrik didapati berubah dengan frekuenssi dalam julat 10 Hz hingga 1 MHz, suhu dalam julat 90 K hingga 350 K dengan ketebalan saput dari 13.8 nm hingga 240 nm. Pemalar dielektrik benilai 8.2 didapati tidakbersandar kepada tebal saput melebehi 60 nm. Medan runtuhan antara 3 hingga 11 MV/cm-1 didapati dari ciri-ciri arus-voltan. Indeks biasan benilai antara 1.79 hingga 2.02 dan pekali pupusan didapati daripada soektrum penghantarandalam julat boleh nampak dan berhampiran infra-merah. Semikonduktor silikon jenis-p ditentukan dengan kaedah kesan Hall, pemalar Hall bernilai 6.25 x 102 cm3/Coulomb dengan ketumpatan pembawa (lohong) 10 16 per cm3 diperolehi. Kellincahan pembawa didapati bersamaan dengan 12.5 cm2/Vs dan kekonduksiannya ohm-1 cm-1 seterusnya kerintangan semikonduktor didapati bernilai 0.5 ohm cm. Semikonduktor saput tipis cadmium tellurida mempunyai jurang jalur yang tinggi iaitu 1.44 eV. Graf cirian arus-voltan TST yang dibina didapati mematuhi cirian yang dikemukakan oleh Weiner (1962) dan Anderson (1976).
Added Author:
Added Corporate Author:
DSP_DISSERTATION:
Thesis (Sarjana Sains) - Universiti Teknologi Malaysia, 1994

Available:*

Library
Item Barcode
Call Number
Material Type
Item Category 1
Status
Searching...
FS300000003870 QC176.83.R69 1994 raf Closed Access Thesis UTM Master Thesis (Closed Access)
Searching...
Searching...
32080000000210 QC176.83.R69 1994 raf Closed Access Thesis UTM Master Thesis (Closed Access)
Searching...
Searching...
30000002576019 QC176.83.R69 1994 raf Closed Access Thesis UTM Master Thesis (Closed Access)
Searching...
Searching...
SPS30000000287 QC176.83 R69 1994 Closed Access Thesis UTM Master Thesis (Closed Access)
Searching...

On Order

Go to:Top of Page